对应的供料器 有：固定式料盘供料器（Stationary tray feeder），自 动堆叠式送料器（Automated stackable feeder），晶圆 供料器（Wafer feeder）以及带式供料器。 所有这些供料技术必须具有精确高速供料的能 力。
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automated stackable feeder
自动堆叠给料机
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