其中电子能谱法又包括x射线光电子能谱法（XPS）、紫外光电子能谱法和俄歇电子能谱法（Auger electron spectrometry，AES）。
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俄歇电子谱法
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The structure and chemical compositions of the surface oxide film were investigated by XRD and Auger electron spectrometry (AES).
利用X射线衍射(XRD)和俄歇电子衍射(AES)观察了表面膜的化学成分及结构。
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