． 电弧离子镀膜系统（Arc Ion-Plating System） ． 感应耦合高密度电浆系统（ICP System）
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arc ion-plating system
电弧离子镀系统
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The Langmuir double probe system based on Virtual Instrument was used to diagnose arc ion plating plasmas.
本文利用基于虚拟仪器的朗缪尔双探针系统对电弧离子镀等离子体进行了诊断研究。
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