...对接触电阻的要求对于22nm及以下尺寸MOS器件，实际上非本征参数（源漏接触电阻和串联电阻）成为了主导因素硅化物（Silicide）是降低源、漏、栅串联电阻，实现可靠欧姆接触的理想选择 Review Silicides are intermetallic compounds that usually form in a...
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在表面溅射一层金属层(比如 ti)，在与硅 接触的表面反应形成金属硅化物(silicide)， 在外表面形成 tin。 如果栅、 源、 漏极都有 silicide 俗称为 salicide，如果只形成在多晶硅上称为 polycide。
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159 SILICIDE 硅化物 大凡称为硅化物（Silicide），指耐火金属（Refrworriesory Metnos）之硅化物，如钛（Ti）、钨（W）、钼（Mo）等与元素硅（Si）联结而成之化合物（TiSi2、Wsi...
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Copper silicide 硅化铜
calcium silicide 硅化钙 ; 二硅化钙 ; 硅钙合金
titanium silicide 硅化钛 ; 钛硅化物
tantalum silicide 硅化钽 ; 二硅化钽
Iron Silicide 硅化铁 ; 硅铁 ; 二硅化铁
As CMOS IC fabrication technology continuously progresses toward sub-0.1μm nodes, the self-aligned silicide （SALICIDE） material and technology also require corresponding innovations.
随着CMOS集成电路制造技术持续向亚0.1μm工艺推进,与之相应的自对准硅化物（SALICIDE）材料和工艺也在不断发展创新。
参考来源 - 用于亚0.1μmCMOS器件技术中的镍硅化物研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
以上来源于: WordNet
N any one of a class of binary compounds formed between silicon and certain metals 硅化物
The semiconductor junction diode comprises silicon, the silicon crystallized in contact with a silicide.
半导体结型二极管包括硅，所述硅与硅化物相接触时结晶化。
The results show that the MOSFETs, with higher doping, thicker si film and silicide, have lower parasitic bipolar gain.
提高体区掺杂浓度、增加硅膜和硅化物厚度能够减小增益。
The solid by-product is obtained by imitating the magnesium silicide method which is used to produce silane in industry.
以硅化镁、氯化铵与液氨为原料，模仿硅化镁法制备硅烷气体的工艺，获得反应生成的固体副产物。
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