注7)在单结晶底板上使单结晶生长被称为外延生长(Epitaxial Growth),是制造半导体器件时的重要技术。液相外延(LPE:Liquid Phase Epitaxy)是其中的一种。
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欢迎访问《半导体学报》网站! 关键词: SiC 化学气相沉积 外延生长[gap=702]Keywords: SiC CVD epitaxy
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...学位及国外工作经验者优先;3、具有五年以上半导体材料方面工作经验,例如:机械化学抛光(CMP),晶片湿法清洗外延生长(Epigrowth)等。
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在IC产业中,在重掺或高质量的表面外延生长( epitaxy growth )一层薄膜变得越来越受到重视,应用 也越来越普遍。
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短语
汽相外延生长
vapor growth epitaxy
;
vapor phase epitaxial growth
;
vge
;
vapor phase epiautoal growth
外延生长炉
epitaxial furnace
;
epitaxial reactor
液相外延生长
liquid phase epitaxial growth
;
LPE
;
[晶体]
rheotaxial growth
外延生长薄片
epitaxial wafer
;
epitaxial slice
异质外延生长
heteroepitaxial growth
外延生长膜
epitaxial layer
;
epitaxial film
分子束外延生长
MBE
;
Molecular beam epitaxy
液相外延生长层
liquid phase epitaxial layer
低压外延生长
low pressure epitaxial growth
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epitaxial growth
- 引用次数:26
参考来源 - 高亮度LED晶圆紫外激光划片技术研究
epitaxial technology
- 引用次数:2
参考来源 - 垂直腔面发射激光器的研制及其特性分析
-
epitaxial growth
- 引用次数:29
The optimal melting temperature and time of the melt-epitaxial growth technics were clarified.
确定了熔融外延生长工艺的最佳熔融温度和熔融时间。
参考来源 - 无氟MOD法制备GdBCO高温超导薄膜研究
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epitaxial growth
- 引用次数:13
参考来源 - Si衬底上低压MOCVD生长ZnS,ZnSe薄膜和ZnSe量子点
epitaxy
- 引用次数:7
参考来源 - 钽铌酸钾薄膜制备工艺优化及非线性光学性能研究
-
epitaxial growth
overgrowth
-
epitaxial growth
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