雷射终点侦测器 （ Laser Endpoint Detector ）： 利用雷射光进射反应物（即芯片）表 面，当时颗发生时，反应层之厚度会逐渐减少，因而反射光会有干扰讯号产生，当蚀刻完成时...
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雷射终点侦测器
Laser endpoint detector
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