1.3.4结终端扩展(JTE)和表面变掺杂技术(VLD)技术 结终端扩展(JTE)是一种在重掺杂区一侧掺杂而增加电荷的方法“”。借助离子注入技术增加电荷的情形,可精确获得所需电荷。
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结终端扩展
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Junction terminal extension
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