同时采用俄歇电子能谱仪( Auger Electron Spectroscopy, AES)分析了N等元素的深度分布状态,发现界面区N的原子浓度随着N_2流量的增加呈现出先增加后减少的趋势,在...
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auger electron spectroscopy
同时采用俄歇电子能谱仪( Auger Electron Spectroscopy, AES)分析了N等元素的深度分布状态,发现界面区N的原子浓度随着N_2流量的增加呈现出先增加后减少的趋势,在...
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