沉积膜成长(Filling of Channels) 沉积现象沉积现象-薄膜沉积机构
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5、沉积膜成长(Film Growth)：完成缝道塡补后，薄膜继续增厚以至达到所 需的厚度。 9 个别的晶粒大小和反应物种类的表面移动率及密度有关系。
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沉积膜成长
Deposition film growth
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