氧气效应(Oxygen Effect): CF4+O COF2+2F 含氧的生成物消耗电浆内的碳原子,使F/C比例升高,因此CF4+O2 的电浆对Si 之蚀刻率比单纯以CF4快3.
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氧气气泡模具效应 Oxygen Bubble Mould Effect
氧气效应
Oxygen effect
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虽然氧化氮是种温室效应气体，但当用作火箭燃料燃烧时，排出的副产品仅仅是热氧气和热氮气。
While nitrous oxide is a powerful greenhouse gas, when it's burned as rocket fuel, the only byproducts are hot oxygen and nitrogen.
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