因此在整合电路（on-chip circuitry）与微结构（microstructure）或微感测器（micro-sensors）方面，面型微 矽加工都比体型加工法占有优势，但是此两种方式在微机电制程技术中的优劣是 无法比较的，这要看所要制作的元件特性...
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微弯感测器 micorbend sensor
微机电系统感测器 MEMS Sensor
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微感测器
Micro-sensor
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