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微差压力器
Differential pressure gauge
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研究了微电容式压力传感器的差动电容结构设计和微谐振式压力传感器的微谐振子结构设计，利用ANSYS软件对微差动电容的结构进行了优化设计。
A micro differential capacitance and a micro harmonic oscillator are studied and designed. The structure of the micro differential capacitance is optimized by use of the ANSYS software.
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