因此，必须经过严格的清 洗工艺去除这些沾污，从而满足MOCVD外延工艺的要求，达到开盒即用 （Epi-ready）的标准。 对于不同类型的沾污，需要采用不同的方法加以去除。
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开盒即用
Ready to use upon opening the box
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