光学式微机电系统 Optical MEMS
光学微机电系统
Optical micro-electromechanical systems
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对投影型微光学编码器的原理进行了分析，结合微机电系统集成技术，提出并实现了投影型微光学编码器。
The principle of projection type micro optical encoder has been described and the optics theory of grating imaging is deduced.
youdao
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