通常当Chamber真空值在真空计的读数范围之外时，比如从皮拉尼（Pirani）切换到潘宁规（Penning Gauge）和样品室打开时（即大气压），该值才会显示为-。
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首先由RP泵从大气 压状态到10Pa左右进行第一阶段排气,此时的真空度有Pirani(皮喇尼)真空计确认。保持RP泵的运行状态然后再启动TMP,真空泵的压力由在真空 状态下可以使用的电离真空计来监控。
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5、 真空计的操作 5．1 测量原理 ACC2009 是皮拉尼真空计（Pirani）和冷阴极(Cold cathode)真空计的组 合，工作过程是一个混合的过程，如下图所示： 电源指示灯（POWER）指示真空计的工作状况： “...
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Pirani gage 皮拉尼计 ; 皮拉尼真空计 ; 皮拉尼压力计 ; 皮喇尼真空计
Pirani gauge 皮拉尼规 ; 电阻规 ; 皮拉尼真空规
Pirani vacuum gauge 皮拉尼真空计
Felix Pirani 皮拉尼 ; 毕拉尼
Pirani tube 皮拉尼管
Pirani type booster 皮拉尼式生降压机
Tofan Pirani 托凡·皮拉尼
Pirani leak detector 皮冉尼侦漏器
Pirani Baratron 适用于腐蚀性气体版本
Supply : Pirani Vacuum Sensor & Vacuum Gauges.
提供皮拉尼真空规管、真空计等。
The integrated Pirani vacuum sensor system in this work can be applied for the gas pressure detector in the medium and rough vacuum measurement.
本文研制的集成皮拉尼传感器系统能够作为气压检测器应用于中真空和粗真空的测量。
An integrated CMOS-compatible Pirani vacuum sensor system has been investigated and developed in this work, combining the traditional Pirani gauge with the MEMS technology.
本文将传统的皮拉尼计与MEMS技术结合起来，研制了一款与标准CMOS工艺兼容的集成皮拉尼传感器系统。
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