程曜，1956年10月出生，浙江嵊州人，教授，博士生导师。1989年德国鲁尔波鸿大学物理系博士毕业。1989年至2001年在新竹同步辐射国家实验室任职，1999年至2002年在新竹清华大学任教，2002年起百人引进回祖国清华大学任教。现于工程物理系建立量子测控实验室。量子测控的意义在于寻求新的微观科学机制，研究并完善这种新的方法，达到极端精密的观测、制造和控制的目的。其和美国马里兰大学史砚华教授合作，研究量子纠缠态的光刻和辐射成像。目前主要的研究方向分激光紫外超深光刻术和极限穆斯堡尔效应。
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