...气压对DC磁控溅射制备AlN薄膜的影响 赖珍荃(Zhen-Quan Lai); 邹文祥 ( Wen-Xiang Zou );李海翼(Hai-Yi Li);刘文兴(Wen-Xing Liu) 52-55
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刘文兴
Liu Wenxing
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