衬底型ISFET是一种化学敏感器件。
本文介绍了位置敏感器件（PSD）的结构和原理。
内有静电敏感器件，接触设备前请戴上防静电手环。
Electrostatic sensitive device inside, Please wear the anti-ESD ring before handing.
敏感单元是触觉传感器的核心器件。
The sensitive cell is the nucleus device of the tactile sensor.
本课题根据星敏感器发展趋势，采用此种探测器件。
Under the trend of development of star sensor, we choose this kind of detector.
本课题根据星敏感器发展趋势，采用此种探测器件。
Under the trend of development of star sensor, we choose this kind of detector.
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