图中间的透镜起缩小掩模图案的作用，使得在晶圆上得到的电路图案长度上是掩模的四分之一。
A lens (middle) reduces the mask's image. So what gets printed on the wafer is typically four times smaller linearly than the mask's pattern.
图中间的透镜起缩小掩模图案的作用，使得在晶圆上得到的电路图案长度上是掩模的四分之一。
A lens (middle) reduces the mask's image. So what gets printed on the wafer is typically four times smaller linearly than the mask's pattern.
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